“高校一定要有不画‘延长线’的攻坚决心,破定式、立新规、闯新路,聚焦服务科技创新和产业创新深度融合这一‘国之大者’,以办学治校的逻辑变革、制度变革、文化变革,引领推进创新型大学取得新突破。”
金力指出,面向新征程、新需要,传统的学科建设模式已不能适应率先建成教育强国的超越性要求,应从单纯学科逻辑加快向服务科技、产业和社会需求逻辑转变,树立“重服务、强贡献”导向。
复旦大学已形成“5+15+100”战略牵引体系,即提出5大战略导向,进一步明确新征程的使命愿景;凝练15个战略领域,对接国家战略推动力量整合;遴选近100个重点方向,强化任务牵引,抢占全球前沿和服务国家竞争力的制高点。目前来看,所有重点方向都能在中央、教育部和上海的“十五五”规划中找到自己的方位,2/3的重点方向能够直接对接国家和上海的新兴支柱产业、未来产业布局。
“我们用‘乐高思维’引领改造学科建设模式。”金力解释,传统学科像许多装乐高零件的盒子;政策创新、制度建设和评价改革,提升了所有零件的即插即用性;凝练重点方向和任务,则像根据国家社会需要拼装出特定的乐高构件。这种“乐高式”学科体系能够用有限单元完成多重任务,避免了高校学科扩张的内在冲动和膨胀式改革,也大大促进了学科交叉融合。
经过几年探索,复旦大学教育教学改革的路径越来越清晰,就是把人才培养的基本单元,从相对固定的“专业”转为更加开放灵活和多元适配的“项目”,摆脱以学科知识体系为中心的惯性,转向以国家战略需求与学生全面发展为中心的主动塑造。
“我们推动多元融通,打破传统学科壁垒,通过跨学科跨专业培养,提升学生快速适应社会、解决复杂难题的能力;推动本研融通,解决本研脱节问题,为拔尖创新人才提供长周期全过程培养路径;推动招培用融通,以招生牵引培养、以就业倒逼培养;推动教与学融通,建构AI for Education基座,鼓励师生共创课堂与课程,实现有教无类、因材施教的教育理想。”金力说道。
复旦大学的“四个融通”理念,把一个个专业编织成了立交桥和上下匝道通畅的高速公路网,而培养项目像一套套行车方案,引导学生在路网上个性化行车。授予哪些学科或专业的学位,是学业评价的最终结果,而不是“一考定终身”。
金力介绍,2025年,学校新打造了120个培养项目,近半年来,着力构建新的教学质量保障体系,按照“所有学科重塑人才培养体系、所有学位项目改革培养方案、所有本研课程逐一调整更新”的要求,推动全校对课程体系、教学体系、教材体系进行全方位优化和重塑,把院系的专业化培养责任转变为校内广泛的项目化协同。
金力强调,建设创新型大学,要着力打造平台型组织,建强基座、接口、枢纽、特区等功能和形态。办学的重心,不仅是生产什么样的知识,更要考虑如何生产和运用知识;治校的重心,要放到各类创新主体和要素的链接、融合、优化上来。大学管理人员要像园丁呵护苗圃一样,呵护创新体系和创新生态。
为实现组织创新,复旦大学聚力建设四类平台。一是直接服务国家紧缺急需的“基座”。快速汇聚跨院系甚至跨校资源,筹建国家交叉学科中心,办好战略领域国家学院、国家产教融合创新中心、全国重点实验室等国家级科研平台,服务支撑国家创新体系。
三是创新要素集聚融合的“枢纽”。如承建上海科学智能研究院,解析科研认知规律并工程化为技能工具,引领支撑垂域创新,打造通用技术和公共服务平台,发挥好引擎功能;建设创新转化研究院、科创母基金,改制大学科技园、创新创业学院,完善成果转化孵化体系。
四是攀登创新巅峰的高密度人才“特区”。成立学敏高等研究院,建好相辉研究院,引进全球范围最杰出的青年人才,追求伟大的原始创新突破。建设相辉学堂,使之成为造就拔尖创新人才的苗圃。
金力表示:“全校‘十五五’和‘双一流’资源投入,进一步聚焦顶尖人才、青年英才引育和拔尖创新人才培养,以支持‘人的发展’为资源配置的核心目标,以激发‘人的活力’为资源配置的效能关键,吸引、造就、激励一流人才和学生。”
此外,学校围绕质量、贡献、效果,推进综合评价改革。从2025年开始,全校“双一流”绩效的教学与科研分配比例,从1:1调整为2:1,鼓励教师投身教育教学创新。今年,学校将扩大二级单位财权事权,个性配置资源政策包、人才评价包、党政考核包,引导党员 、干部队伍重实绩、重质量、重担当。
随着半导体 制程向先进节点演进,3D 晶体管 架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学 检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan 检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造 提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革 :鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于 :电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。 DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具 、FIRE GDS 版图分析平台 及Exensio 大数据智能分析平台 三大核心组件构成,其技术突破 的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构 ,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性 ,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测: 仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测: 仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测: 可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍 ,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取 ,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压 、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF 格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师 可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率 ,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑 。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM 检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能 ,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号 ,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造 工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程 :
先进逻辑芯片制造
中段制程: GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程: M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络: 电源 通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路: 栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列: 基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案 通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题 。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷 “难识别、难检测 ” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级 ,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用 掌上梅州讯 3月15日,和鸣·万山繁花——梅州画院2025聚焦“百千万工程”主题创作汇报展开幕仪式在梅州市华侨博物馆举行。本次展览以丹青为媒、以时代为卷,集中展现梅州美术工作者扎根基层、服务大局,用艺术笔触记录“百千万工程”生动实践、描绘城乡发展崭新图景的创作成果。展览将持续至5月5日。
开幕仪式上,梅州画院负责人通报展览情况,领导嘉宾为参展画家代表颁发证书,梅州画院向广东中国客家博物馆捐赠馆藏作品,多位画家向梅州画院捐赠院藏作品。现场还举行了学术交流座谈会,一级美术师、广东画院创作室副主任杜宁,嘉应学院美术学院院长秦宏等对参展作品作点评与专业指导,为今后创作启迪思路。参展画家分享创作心得,围绕主题创作、艺术表达、地域特色与时代使命等展开研讨,碰撞思想、凝聚共识。
据悉,本次展览汇聚了来自北京、云南、山东、广西、福建、江西、粤港澳大湾区、潮汕以及梅州本土画家精心创作的78幅优秀作品,涵盖中国画、油画、版画、水彩(粉)画、漆画、综合材料等多种艺术形式。作品题材宽泛不拘、技法各有千秋,每一幅作品里都藏着创作者对“百千万工程”城乡变化的细腻观察,对传统笔墨的深刻体悟,更有对时代的深情礼赞。
2025年是“百千万工程”实现“三年初见成效”的关键之年。梅州画院承“和鸣”之脉,定“万山繁花”为题,引领画家深入城乡,以丹青记录时代,努力从多视角、多维度生动展现“百千万工程”的丰硕成果。展览主办方表示,希望以这样的笔墨佳作赋能“百千万工程”,以笔墨为桥搭起文旅融合的纽带,为梅州高质量发展增添一份艺术动能。
本次展览由广东画院指导,梅州市文学艺术界联合会主办,梅州画院(林风眠画院)、梅州市美术家协会承办。
视频、图文/梅州日报记者:李盛华
编辑:张晓珊
审核:黄炜明
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梅州画院2025聚焦“百千万工程”主题创作汇报展开幕 Facebook Twitter Threads Flipboard Print Email Add Fox News on Google Fox News Flash top sports headlines for March 15 Fox News Flash top sports headlines are here. Check out what's clicking on FoxNews.com.
NEWYou can now listen to Fox News articles! Tennessee Volunteers catcher Stone Lawless thought he had given his team the lead in the top of the ninth inning against the Georgia Bulldogs on Sunday, but his dramatic bat slam was all for naught.
Lawless drove Bulldogs pitcher Justin Byrd’s pitch deep to left field. He slammed the bat on the ground and began to celebrate with his teammates in the dugout. However, Georgia left fielder Cole Johnson leaped at the wall and robbed the home run.
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Tennessee’s Stone Lawless at bat against Nicholls during an NCAA college baseball game on Feb. 13, 2026, in Knoxville, Tennessee. (Saul Young/News Sentinel / USA TODAY NETWORK via Imagn Images)
Johnson and his Bulldogs teammates celebrated the 8-7 win. Lawless was stunned.
"Initially, I didn't think it was a no-doubter. I thought he caught the ball off the end of the bat," Georgia head coach Wes Johnson said after the game, via the team’s website. "When Cole was going back, he works on that stuff. He gets after it in batting practice and works on that. Then when I saw him make the catch, I couldn't believe it."
Cole Johnson said he knew that if the ball was going to be a home run, it would have been out of his reach.
2026 NCAA MEN'S BASKETBALL TOURNAMENT SELECTIONS REVEALED
Tennessee catcher Stone Lawless (27) hits a fly ball during the SEC Baseball Tournament Semifinals game between Tennessee Volunteers and Vanderbilt Commodores on May 24, 2025, at Hoover Metropolitan Stadium in Hoover, Alabama. (David Buono/Icon Sportswire via Getty Images)
"I knew it was going to be right up against the wall, and if it was a homer, it wasn't going to be out by much," he said. "I was just trying to get my back against the wall as quick as I could."
Tennessee had a 6-3 lead in the top of the seventh inning, but a five-run inning in the bottom of the frame put Georgia up. Bryce Callaway’s three-run home run helped give Georgia the lead.
A Georgia baseball cap during the men's college baseball game between the Georgia Bulldogs and the Georgia Tech Yellow Jackets on March 3, 2024 at Coolray Field in Lawrenceville, Georgia. (David J. Griffin/Icon Sportswire via Getty Images)
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The Bulldogs are 17-4 on the year. Tennessee fell to 14-6.
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Georgia's home run robbery saves win 这份名单里,自由人位置只安排了王梦洁一人,里约奥运会最佳自由人林莉遭淘汰。最近网上要求林莉参加东京奥运会的呼声很高,郎导没有理睬这些呼声。
预料之外的是刘晓彤和刘晏含了。刘晓彤、刘晏含世联赛的表现大家都有目共睹,表现那样,还为什么还要带她俩?很多球迷认为栗垚比她俩机会大,虽然栗垚只是国家队一年级新生,但她表现出了不错的水准。最后还是落选了,多少有些让人难以理解。
网友评论称:
实在想不明白,全国观众都看在眼里,刘晓彤还是硬生生被选上,状态这么差是怎么选上的?福星是4年前的,现在福运转移了,不可能永远带着福星。多带一名护工或者自由人都比带第4个主攻好。
也许刘晓彤会低开高走,奥运会会让大家出乎意料呢,我们为女排祈祷吧。
狼外婆与刘一飞共存亡,刘一飞将主演联络员角色开始奥运之旅。
奥运会竞争太大,水平也是最高的,老将压阵会有心理作用,栗垚落选情理之中,世联赛对手不熟悉,打几场比赛不可能比打了很久国际比赛的人经验丰富,何况运动员状态起伏很正常的。
郎导当然是大神。不过能不能弱弱地问一句,刘晏含替刘晓彤打主攻,李垚替刘晏含打接应是不是更好点?
其他人都可以接受,唯一不该入选的是京刘(当然我在前几周就说过,刘晓彤一定会被参加)就她目前的体能,状态已不具备打奥运会这样的比赛了,如果说在里约救过中国女排的命,救过郎平的命,这次一定要带上她,那是另一码事了,与体育无关。
上谁都可以耍能夺冠最重耍!加油女排!
" alt="中国女排奥运名单意外吗?情理之中预料之外" class="photo-item-img hover-scale">
中国女排奥运名单意外吗?情理之中预料之外